1. 选择正确的样品座放置样品并固定，样品高度不要超过样品座上方10mm。注意：接触样品座，取放样品时务必戴手套操作！
2. 装样品前必须确认高压处于关闭状态，按下VENT按钮对Exchangechamber放气，直至VENT常亮，表示样品交换室处于大气状态。
3. 松开交换室锁扣，打开样品交换室，将已固定好样品的样品座，按箭头方向置于样品座夹具内。
4. 完全关闭样品交换室门，扣好锁扣。按下EVAC按钮，开始抽真空，EVAC闪烁，待真空达到要求时，EVAC常亮。
7. 查看样品室真空度，确认真空度＜5.0×10-4 Pa时才可开始进行图像操作。
8. 观察样品，获取图像。
（1）点击ON，打开高压，根据样品选择所需的电压。
（2）如果有多个样品，按下LDF按钮切换到低倍模式，选择要观察的样品位置，选好后按LDF按钮切换回高倍模式。
（3）确认Scanning Mode在Quick View状态，寻找样品表面的明显特征。先切换到较高倍率，转动FOCUS的旋钮进行聚焦，X. Y散光像差校正旋钮进行像散调整，调整亮度与对比度（可按ACB自动调整或手动调整），直至样品表面特征的图像清晰为止（低倍率时，利用AUTO键进行自动对焦）。然后切回所需之倍率进行图像观察。
（4）图像聚焦像散调整完毕后，按下FINE VIEW键及FREEZE键扫描图像并定格，也可按下PHOTO键获取最终图像，输入样品名称，选择文件类型和文件保存位置，点击“Save”进行保存。
（5）按“FREEZE”键取消锁定，按“QUICK VIEW”进行快速扫描，为下一次调整图像做好准备。
9. 将放大倍率调至最低倍；点击OFF，关闭高压，确认高压处于关闭状态；按下VENT键放气，直至VENT常亮；关闭样品交换室并按EVAC抽真空，待EVAC灯不再闪动后，观察结束。
10. 注意事项：
（1）注意：在拉动样品杆时，若有警报声，应立即停止操作，将样品杆归位，检查操作步骤是否正确。
（2）拉出拉杆时，切记一定要将拉杆完全拉出后才可以立起，否则样品杆会弯折变形。
（3）实验完成后只需关闭计算机显示器，其他任何页面及装置不予关闭。
11. 测试结束后，在记录本上记录使用情况。
